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真空泵機組繚繞圓柱靶濺射沉積產額散布

日期:2018-7-10 15:43:52 人氣:

真空泵機組繚繞圓柱靶濺射沉積產額散布


   采納數值劃算模子,劃算了繚繞圓柱靶濺射產額散布。數值劃算中假如從靶濺射進去的粒子遵從余弦因變量定理。劃算失去的單靶濺射產額散布和Al靶在Ar氣壓0.4Pa測量失去的試驗值根本相反。同聲劃算了雙生繚繞圓柱靶的濺射產額別離與靶基距、靶間距,以及靶繚繞觀點的有關性。
   繚繞圓柱靶自從在80年歲創造以來,失掉了寬泛的利用,同聲繚繞圓柱靶一直改良欠缺。雙生繚繞圓柱靶已寬泛用來沉積低輻射膜、陽光掌握膜的呆滯玻璃鍍膜線上。全玻璃真空月亮集熱管的鍍膜機也采納繚繞圓柱靶。與立體靶比擬,繚繞圓柱靶有如次多項長處:靶材利用率高;靶名義沒有刻蝕槽,這是因為圓柱靶在濺射運行內中中,靶芯中的磁石生動不動,靶管繚繞;在反響濺射鍍膜內中中弧光尖端放電(通常稱為‘打火’)位數少。
   繚繞圓柱靶濺射產額散布導致了寬泛的注重。濺射粒子發射的位置與轟擊粒子的能量,靶材成份,濺射氣壓無關。白文按照Brodied提出的實踐,從靶名義濺射出的粒子遵從余弦定理,繼續了濺射產額散布與靶的多少何參數有關性劃算綜合,并與試驗數據繼續了比擬。因為鍍膜室的濺射壓強正常剩余低,劃算中濺射進去的粒子與氣體碰撞對濺射散布莫須有疏忽不計。
1、濺射散布數值模子
   鍍膜線的圓柱靶和鍍膜立體襯底橫截面絕對地位示用意如圖1所示。以襯底橫截面線為X軸,以靶核心與襯底的垂曲線,稱為靶-襯底垂直線,為Y軸,形成直角坐標系XOY,交點O為原點。磁控濺射圓柱靶由極靴、永磁體及圓柱靶材組成。極靴沿圓周裝有三排永磁體,靶運行時,永磁體生動不靜止,靶管繚繞。在濺射內中中,在相鄰兩磁體之間的靶管名義產生刻蝕。圖1中的濺射刻蝕區中點與靶核心連線界說為刻蝕點徑向線。
圖1圓柱靶戰爭面襯底絕對多少何地位示用意
4、論斷
   白文按照Brodied提出的實踐,疏忽濺射粒子和其它分子碰撞,劃算了繚繞圓柱靶濺射產額散布,同聲劃算失去的產額散布與試驗測量失去的繼續了比擬。咱們經過本作業失去如次后果:
   (1)在靶以及靶與襯底基片間隔相反的多少何尺寸下,劃算失去的單靶濺射產額散布和Al靶在Ar氣壓0.4Pa測量失去的試驗值根本相反,這表明從靶濺射進去的Al粒子與濺射氣體的碰撞對濺射抵達玻璃襯底的散布的莫須有可疏忽不計。
   (2)雙生靶產額散布與靶基距、靶間距強烈有關。靶基距從大逐漸減小,濺射產額從單峰形散布,過渡到峰頂涌現平臺,再涌現雙峰,最初雙峰峰值地位對應雙生靶的兩個靶核心地位。由單峰向雙峰轉換內中中,隨著靶基距減小,整個峰形變窄。而靶間距自小逐漸增多,濺射產額曲線變遷內中與下面靶基距從大逐漸減小相似,從單峰到雙峰轉換。由單峰向雙峰轉換內中中,隨著靶間距增多,整個峰形變寬。
   (3)雙生靶向內繚繞,濺射散布幅度變窄,向外繚繞,濺射散布幅度變寬。利用數值模子劃算失去的濺射產額散布能夠用來指點鍍膜線的設計。如集熱管的鍍膜線設計中,可采納數值模子劃算優化取舍雙生靶的靶間距、靶與玻璃管襯底間隔,指點鍍膜室的設計,保障鍍膜玻璃管外名義上月亮吸引復合膜的徑向勻稱性,普及玻璃管上沉積效率。

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